[发明专利]具有预紧结构的三轴向解耦装置及振动台

摘要

本发明公开了一种具有预紧结构的三轴向解耦装置，包括滑轨、X导向轴、Y导向轴以及Z导向轴，每根导向轴通过第一静压机构形成的静压油膜层浮动设置，每个第一静压机构还设置有预紧螺钉，预紧螺钉的一端与第一静压机构相对固定，预紧螺钉的另一端与另一同侧静压机构或另一异侧静压机构相对固定。本发明在连接方式上采用预紧螺钉的结构设计，在工作时，给其通入高压油，使两处油膜层处产生高压油膜，然后预紧螺钉的预紧力可以抵消高压油膜对外产生的张力，使其保证油膜层间隙，以及油膜层自身的刚度，提高三轴向解耦装置的工作稳定性及耐久性。本发明还公开了一种振动台。

主权项

1.一种具有预紧结构的三轴向解耦装置，包括:‑滑轨；‑X轴导向组件，其设置在所述滑轨的左侧或右侧，包括沿左右方向延伸的X导向轴；‑Y轴导向组件，其设置在所述滑轨的前侧或后侧，包括沿前后方向延伸的Y导向轴；‑Z轴导向组件，其设置在所述滑轨的下侧，包括沿上下方向延伸的Z导向轴；其中，所述滑轨分别通过第一静压机构形成的静压油膜层相对所述X导向轴的相对端、所述Y导向轴的相对端以及所述Z导向轴的相对端浮动设置；所述X导向轴的相背端构成X轴激振输入端，所述Y导向轴的相背端构成Y轴激振输入端，所述Z导向轴的相背端构成Z轴激振输入端；其特征在于：每个第一静压机构还设置有预紧螺钉，所述预紧螺钉的一端与所述第一静压机构相对固定，所述预紧螺钉的另一端与另一同侧静压机构或另一异侧静压机构相对固定，所述另一同侧静压机构与所述第一静压机构设置在所述滑轨的同一侧，并且二者分别与一固定设置的辅助定位板相对浮动设置，所述另一异侧静压机构与所述第一静压机构设置在所述滑轨的不同侧，并且二者分别与所述滑轨相对浮动设置。