[发明专利]一种制造具有参考电容的传感器的方法

摘要

本发明提供了一种制造具有参考电容的传感器的方法，包括以下步骤：（1）提供第一衬底，所述第一衬底包括具有第一光接收区的正面和与所述正面相对的背面；（2）所述第一衬底的背面制作凹槽，所述凹槽深度小于或等于所述第一衬底的厚度的一半；（3）提供第二衬底，并将所述第二衬底固定于所述凹槽内，所述第二衬底包括具有第二光接收区的正面和与所述正面相对的背面，所述第二衬底的正面与所述第一衬底的背面共面；（4）制作一垂直电容器，所述电容器平行于所述第一衬底的侧面，所述电容器由绝缘材料包覆。

主权项

1.一种制造具有参考电容的传感器的方法，包括以下步骤：（1）提供第一衬底，所述第一衬底包括具有第一光接收区的正面和与所述正面相对的背面；（2）所述第一衬底的背面制作凹槽，所述凹槽深度小于或等于所述第一衬底的厚度的一半；（3）提供第二衬底，并将所述第二衬底固定于所述凹槽内，所述第二衬底包括具有第二光接收区的正面和与所述正面相对的背面，所述第二衬底的正面与所述第一衬底的背面共面；（4）制作一垂直电容器，所述电容器平行于所述第一衬底的侧面，所述电容器由绝缘材料包覆；（5）在所述第一衬底的正面上通过第一感光树脂层粘合第一滤光玻璃片；（6）在所述第二衬底的正面和第一衬底的背面上设置第二感光树脂层；（7）光照固化所述第一和第二感光树脂层；（8）制作第一导电通孔和第二导电通孔，第一导电通孔电连接在所述第一衬底的正面上的多个第一焊盘并穿过所述第一衬底和第二感光树脂层，第二导电通孔电连接在所述第二衬底的正面上的多个第二焊盘并穿过所述第二感光树脂层；（9）将所述第一导电通孔和第二导电通孔通过焊球与第二滤光玻璃片的导电图案电连接，将与所述电容器的两个电极板电连接的第三导电通孔通过焊球与所述第二滤光玻璃片的导电图案电连接，并在第二感光树脂层和第二滤光玻璃片之间、绝缘材料与和第二滤光玻璃片之间填充透明填充层。