[发明专利]硫化镉陶瓷靶材的制备方法在审
| 申请号： | 201611042961.4 | 申请日： | 2016-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN106350778A | 公开（公告）日： | 2017-01-25 |
| 发明（设计）人： | 王耀斌 | 申请（专利权）人： | 陕西盛迈石油有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06;C04B35/547 |
| 代理公司： | 西安亿诺专利代理有限公司61220 | 代理人： | 贾苗苗 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市高新*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及功能材料技术领域，具体涉及一种硫化镉陶瓷靶材的制备方法。硫化镉陶瓷靶材的制备方法，第一步，原料配制CdS粉末以及助熔剂；第二步，混合先将CdC12溶于热水后与PVA水溶液混合均匀，用小喷壶喷洒到CdS粉末中，并充分搅拌均匀；第三步，烘干将混合好的原料放入干燥箱中烘干；第四步，过筛将烘干后筛选出30目的粉料颗粒；第五步，困料过筛后的粉料颗粒密闭困料，确保水分均匀；第六步，成型将粉料装入模具进行干压成型；第七步，烧结将压好的样品放入坩埚内进行烧结，采用真空烧结的方式，并真空随炉冷却至室温，制成硫化镉陶瓷靶材。通过本发明制备的靶材试样能满足磁控溅射镀膜工艺对靶材的指标要求。 | ||
| 搜索关键词： | 硫化 陶瓷 制备 方法 | ||
【主权项】：
硫化镉陶瓷靶材的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：第一步，原料配制： CdS粉末以及助熔剂；第二步，混合：先将CdC12溶于热水后与PVA水溶液混合均匀，用小喷壶喷洒到CdS粉末中，并充分搅拌均匀；第三步，烘干：将混合好的原料放入干燥箱中烘干；第四步，过筛：将烘干后筛选出30～60目的粉料颗粒；第五步，困料：过筛后的粉料颗粒密闭困料，确保水分均匀；第六步，成型：将粉料装入模具进行干压成型；第七步，烧结：将压好的样品放入坩埚内进行烧结，采用真空烧结的方式，并真空随炉冷却至室温，制成硫化镉陶瓷靶材。
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