[发明专利]一种测量高精细度腔精细度的方法及装置

摘要

本发明属于激光光谱技术领域，具体为一种测量高精细度腔精细度的方法及装置。解决了目前测量高精细度腔参数时存在的测量精度较低、对探测器精度要求高的技术问题。本发明利用频率锁定技术，扫描第二调制频率用光强信号描绘出了高精细度腔的腔模形状，从原理上更具有准确性。本发明在测量过程中由于使用了频率锁定技术，光‑腔一直处于锁定状态，避免了光‑腔频率的相对漂移，单次测量结果可信度高。本发明在测量中对探测器响应时间要求不高；由于腔模宽度一般在KHz量级，测量探测器带宽也不需要太大，这样就能保证使用的探测器精度可以很高。

主权项

1.一种测量高精细度腔精细度的方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)对激光器输出的激光加上第一个调制频率，作为载频的激光会产生对称的两个边带，即边带‑1和边带1，边带‑1和边带1通过与待测的高精细度腔作用产生误差信号，误差信号的反馈将激光器出射激光的中心频率锁定到高精细度腔腔模的中心；所述第一个调制频率大于腔模的全宽小于一个自由光谱区；(2)对激光加上第二个调制频率，该调制频率的大小近似等于高精细度腔一倍自由光谱区的大小，这时激光会产生对称的两个边带，即边带‑2和边带2，扫描第二个调制频率，这样在待测的高精细度腔的透射端会得到一个关于光强的起伏，光强起伏的形状对应于高精细度腔腔模的形状；(3)将扫描得到的高精细度腔腔模图样用腔模的洛伦兹线型进行拟合：直接得出高精细度腔的精细度F；式中，x代表高精度腔内透射光的频率，y代表透射光的光强，y0与A是与探测器有关的常数，F是高精细度腔的精细度，FSR是测量得到的高精细度腔的一倍自由光谱区频率。