[发明专利]进气方式及压力可调的多功能大尺寸化学气相沉积设备

摘要

本发明涉及一种进气方式及压力可调的多功能大尺寸化学气相沉积设备，包括工艺腔室(1)、加热炉体及开合系统(2)、炉门机构及腔室密封系统(3)、水冷热交换器(4)、压力调控系统(5)、进出气系统(6)以及电气控制系统(7)；其中，工艺腔室(1)的水平一端安装有炉门机构及腔室密封系统(3)，其水平另一端则与压力调控系统(5)相连接，压力调控系统(5)对工艺腔室(1)内部的压力进行调节；工艺腔室(1)的垂直向外围安装有加热炉体及开合系统(2)；水冷热交换器(4)位于加热炉体及开合系统(2)的顶部，对其做温度调节；进出气系统(6)连通到工艺腔室(1)的内部；电气控制系统(7)对整个CVD设备进行控制。

主权项

一种进气方式及压力可调的多功能大尺寸化学气相沉积设备，其特征在于，包括：工艺腔室(1)、加热炉体及开合系统(2)、炉门机构及腔室密封系统(3)、水冷热交换器(4)、压力调控系统(5)、进出气系统(6)以及电气控制系统(7)；其中，所述工艺腔室(1)的水平一端安装有所述炉门机构及腔室密封系统(3)，其水平另一端则与压力调控系统(5)相连接，所述压力调控系统(5)对所述工艺腔室(1)内部的压力进行调节；所述工艺腔室(1)的垂直向外围安装有加热炉体及开合系统(2)；所述水冷热交换器(4)位于所述加热炉体及开合系统(2)的顶部，对设备表面做温度调节；所述进出气系统(6)连通到所述工艺腔室(1)的内部；所述电气控制系统(7)对整个CVD设备进行控制。