[发明专利]一种等离子体处理装置在审
| 申请号： | 201611023477.7 | 申请日： | 2016-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN106373852A | 公开（公告）日： | 2017-02-01 |
| 发明（设计）人： | 郑少梅 | 申请（专利权）人： | 青岛理工大学 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京汇捷知识产权代理事务所(普通合伙)11531 | 代理人： | 李宏伟 |
| 地址： | 266520 山东省青*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种等离子体处理装置，该装置包括外壳、电源、电极部件、驱动电机、弹簧、震动模块、设置在外壳内的反应室，电极部件设置于反应室内并与电源连接，震动模块设置于反应室内，震动模块上的圆盘上设置有多个凹点，驱动电机的圆盘上设置有两个凸点，凹点与凸点形成配合以在驱动电机圆盘运动时，使震动模块在弹簧的反作用力下形成均匀震动。本发明中电极部件通电形成高频电场将反应气体电离，颗粒材料在高频电场中进行表面处理，并且结合震动模块震动，颗粒材料在震动下翻转，可实现均匀处理，处理效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
一种等离子体处理装置，其特征在于，所述装置包括外壳、电源、电极部件、驱动电机、弹簧、震动模块、设置在所述外壳内的反应室，所述电极部件设置于所述反应室内并与所述电源连接，所述震动模块设置于所述反应室内，所述震动模块上的圆盘上设置有多个凹点，所述驱动电机的圆盘上设置有两个凸点，所述凹点与所述凸点形成配合以在驱动电机圆盘运动时，使所述震动模块在所述弹簧的反作用力下形成均匀震动。
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