[发明专利]基于纳米材料的传感器检测气体的方法有效
| 申请号： | 201611020960.X | 申请日： | 2015-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN106404849B | 公开（公告）日： | 2019-04-26 |
| 发明（设计）人： | 骆兴芳;袁彩雷;易强;俞挺 | 申请（专利权）人： | 江西师范大学 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤 |
| 地址： | 330022 *** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 一种基于纳米材料的传感器检测气体的方法，包括：获取第一曲线，所述第一曲线为：在没有待检测气体的环境下，所述传感器的频率与S11的曲线；将所述传感器放置于待检测环境，获取第二曲线，所述第二曲线为：在待检测环境下，所述传感器的频率与S11的曲线；通过比较第一曲线和第二曲线的频移的谐振频率变化与否，检测待检测环境下是否存在待检测气体。本发明实施例的传感器检测气体的方法灵敏度高、检测精度高、兼容性好。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 纳米 材料 传感器 检测 气体 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于纳米材料的传感器检测气体的方法，其特征在于：所述传感器包括：具有第一表面和与第一表面相对的第二表面的半导体衬底；位于第一表面的第一介质层；位于第二表面的第二介质层；位于第一介质层表面的传输线，且传输线具有间隔；填充所述间隔的MoS2纳米结构；位于第二介质层的接地层，所述接地层内具有互补开口谐振环，互补开口谐振环的位置与传输线的间隔对应；所述方法包括：获取第一曲线，所述第一曲线为：在没有待检测气体的环境下，所述传感器的频率与S11的曲线；将所述传感器放置于待检测环境，获取第二曲线，所述第二曲线为：在待检测环境下，所述传感器的频率与S11的曲线；通过比较第一曲线和第二曲线的谐振频率变化与否，检测待检测环境下是否存在待检测气体。
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