[发明专利]一种刀具表面CrN-CrAlSiN阶梯状多元复合涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201611020958.2 | 申请日： | 2016-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN106521413B | 公开（公告）日： | 2019-04-02 |
| 发明（设计）人： | 张磊;周洋;张锡健 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/34;C23C14/35;C23C14/02 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 张晓鹏 |
| 地址： | 250061 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种刀具表面CrN‑CrAlSiN阶梯状多元复合涂层及其制备方法，包括如下步骤：1)对刀具的表面进行清洁；2)在刀具的表面溅射CrN涂层，靶材为CrN合金；3)在溅射有CrN涂层的刀具表面溅射CrAlSiN涂层，靶材为CrAlSiN合金，溅射环境为氩气环境。本发明通过在硬质合金刀具表面溅射CrN‑CrAlSiN阶梯状多元复合涂层，使刀具材料与CrN过渡层和CrAlSiN涂层材料紧密的结合在一起，有效地防止了涂层刀具使用过程中的脱落问题，延长了涂层刀具的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 刀具 表面 crn cralsin 阶梯 多元 复合 涂层 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种刀具表面CrN‑CrAlSiN阶梯状多元复合涂层的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：1)对刀具的表面进行清洁；首先对刀具基片表面进行抛光处理，使其达到设定的粗糙度，清洗、干燥后在磁控溅射室中被氩离子清洁，直至达标；抛光后的刀具基片表面粗糙度为0.02‑0.04μm；2)在刀具的表面溅射CrN涂层，靶材为CrN合金；溅射CrN涂层时，氩气的压力为2.0‑3.0Pa，施加220V偏压，溅射的时间为35‑45min；3)在溅射有CrN涂层的刀具表面溅射CrAlSiN涂层，靶材为CrAlSiN合金，溅射环境为氩气环境；溅射CrAlSiN涂层时，靶材为CrAlSiN合金，氩气的压力为2.0‑3.0Pa，施加35‑45V偏压，溅射的时间为55‑65min；所述CrN涂层的厚度为150‑200nm，CrAlSiN涂层的厚度为1700‑2300nm。
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