[发明专利]一种NISSIN离子注入机台的自动化程式正确性管理方法及装置有效

专利信息
申请号: 201611018094.0 申请日: 2016-11-18
公开(公告)号: CN106547697B 公开(公告)日: 2019-03-26
发明(设计)人: 孙天拓;戴树刚;胡荣 申请(专利权)人: 上海华力微电子有限公司
主分类号: G06F11/36 分类号: G06F11/36
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 智云
地址: 201203 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种NISSIN离子注入机台的自动化程式正确性管理装置及方法,该方法包括:接收用户的选择操作,选择目标机台服务器;于接收到用户的选择操作后,根据用户的选择操作从目标机台服务器下载待检查程式;采用先逐列遍历程式文件标题行、再逐行遍历程式文件的导弹攻击方法对每个程式收集待检查参数,生成待检查参数报表;对程式及待检查参数进行正确性检查,输出检查结果,通过本发明,可以自动对NISSIN离子注入机台程式进行正确性检查,不仅节省人工检查时的人力,而且更能保证100%检出程式错误,避免程式错误造成的损失。
搜索关键词: 一种 离子 注入 机台 自动化 程式 正确性 管理 方法 装置
【主权项】:
1.一种NISSIN离子注入机台的自动化程式正确性管理装置,包括:接收单元,用于接收用户的选择操作,以选择目标机台服务器;请求下载单元,以于该接收单元接收到用户的选择操作后,根据用户的选择操作从目标机台服务器下载待检查程式;待检查参数收集单元,采用先逐列遍历程式文件标题行、再逐行遍历程式文件的导弹攻击方法对每个程式收集待检查参数,生成待检查参数报表;程式正确性检查单元,对程式及待检查参数进行正确性检查,输出检查结果;所述导弹攻击方法包括:该待检查参数收集单元先定义待收集参数名数组、待收集参数编号数组和待收集参数数组,然后逐列遍历程式文件标题行,并判断当前列是否位于待收集参数名数组中,若是,则将当前列的编号置于待收集参数编号数组对应位置,若否,则转到标题行下一列,然后逐行遍历程式文件,逐列遍历当前程式,判断当前列的参数编号是否位于待收集参数编号数组中,若是,则将当前行的参数值置于待收集参数数组对应位置,若否,则转到当前程式下一列。
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