[发明专利]一种双面研磨抛光机在审
| 申请号： | 201611000010.0 | 申请日： | 2016-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN106425830A | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 欧仕明;姜建军;石矿;欧国春 | 申请（专利权）人： | 宜兴市晶科光学仪器有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/08 | 分类号： | B24B37/08;B24B37/28;B24B37/34;B24B37/005;B24B37/013 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司32218 | 代理人： | 李德溅;徐冬涛 |
| 地址： | 214211 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种双面研磨抛光机，包括上盘，所述上盘的正下方设有下盘（1），上盘和下盘（1）采用不同的电机驱动且两者的转动方向相反，所述下盘（1）的外缘侧设有内齿圈（2）且下盘（1）的中部设有太阳轮（3），在下盘（1）上放置有作为工装夹具的行星轮（4），行星轮（4）的两侧分别与内齿圈（2）和太阳轮（3）啮合且内齿圈（2）和太阳轮（3）采用不同的电机驱动，使得行星轮（4）在内齿圈（2）和太阳轮（3）的作用下既能自转又能围绕太阳轮（3）公转。本发明使得工件在载体内形成至少三个方向的速度相互协调的磨削运动，两面均匀磨削、阻力小、效率高且不损伤工件，适用于硅片、蓝宝石衬底以及外延片的研磨抛光。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双面 研磨 抛光机 | ||
【主权项】：
一种双面研磨抛光机，包括上盘，其特征在于：所述上盘的正下方设有与之对应的下盘（1），上盘和下盘（1）采用不同的电机驱动且两者的转动方向相反，所述下盘（1）的外缘侧设有内齿圈（2）且下盘（1）的中部设有太阳轮（3），在下盘（1）上放置有作为工装夹具的行星轮（4），行星轮（4）的两侧分别与内齿圈（2）和太阳轮（3）啮合且内齿圈（2）和太阳轮（3）采用不同的电机驱动，使得行星轮（4）在内齿圈（2）和太阳轮（3）的作用下既能自转又能围绕太阳轮（3）公转。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宜兴市晶科光学仪器有限公司，未经宜兴市晶科光学仪器有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201611000010.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种气浮式轴类研抛机
- 下一篇：一种全自动蓝宝石研磨机
