[发明专利]一种用于透射电子显微镜下原位力学加载工具的制备方法

摘要

一种用于透射电子显微镜下原位力学加载工具的制备方法，包括：测量毛坯压头根部与顶端连接产生的两个平面的宽度比，即L₁/L₂；将的毛培压头，放入样平台上，旋转样品台，直至在离子成像模式下，成像的压头根部与顶端连接产生的两个平面的宽度比与步骤一中的L₁/L₂保持一致；偏转离子束入射角度，直至离子束成像模式下，所成像的压头边顶部的边平行水平方向，设此时离子束入射偏转角度为α；成像模式下切制出压头大致轮廓；样品台旋转180°，将离子束偏转角度恢复至初始角度，成像模式下，对雏形压头进行减薄；将样品台旋转180°，离子束偏转角度设为α，切制得到加载工具；本发明具有重复性好、压头与样品接触良好的优点。

主权项

1.一种用于透射电子显微镜下原位力学加载工具的制备方法，具体方法包括下述步骤：步骤一：测量将安装有毛坯压头的测试样品杆水平放置，测量毛坯压头根部与顶端连接产生的两个平面的宽度比，即L₁/L₂；进一步的，将毛坯压头(1)通过螺纹连接在样品杆(2)的压头支撑杆上；将样品杆(2)水平放置，用导电笔在毛坯压头(1)的顶端做标记(3)，用激光共聚焦显微镜对压头部分进行拍照，获得俯视图，在俯视图上测量压头两平面的宽度比L₁/L₂；步骤二：成像将测量后的毛培压头取下，放入聚焦离子束切割设备腔室的样平台上，旋转样品台，直至在离子成像模式下，成像的压头根部与顶端连接产生的两个平面的宽度比与步骤一中的L₁/L₂保持一致；进一步的，将测量后的毛培压头取下，放入聚焦离子束切割设备腔室的45°样平台(8)上，使得标注有标记(3)的面朝上，以保证在离子束下看到压头的一侧与步骤一中测量的为同侧，调整毛坯压头(1)的高度，使得毛坯压头(1)处于电子束(11)和离子束(12)的共心高度位置；样品台角度设置为7°，选择适当的束流，将离子像调节清晰；旋转样品台，直至在离子成像模式下，成像的压头根部与顶端连接产生的两个平面的宽度比L3/L4与步骤一中的L1/L2保持一致；步骤三：加工偏转离子束入射角度，直至离子束成像模式下，所成像的压头边顶部的边平行水平方向，设此时离子束入射偏转角度为α；成像模式下切制出压头大致轮廓，得到雏形压头；样品台旋转180°，将离子束偏转角度恢复至初始角度，成像模式下，对雏形压头进行减薄，得到减薄压头；将样品台旋转180°，离子束偏转角度设为α，切制得到加载工具；进一步的，偏转离子束入射角度，直至离子束成像模式下，所成像的压头边顶部的边平行水平方向，设此时离子束入射偏转角度为α；成像模式下切制出压头大致轮廓，得到雏形压头(13)；将样品台(8)旋转180°，将离子束偏转角度恢复至初始角度，对雏形压头(13)进行减薄；将样品台(8)旋转180°，离子束偏转角度设为α，得到加载工具(10)。