[发明专利]一种动态调整安全研磨时间限的方法有效
| 申请号： | 201610993680.0 | 申请日： | 2016-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN106312792B | 公开（公告）日： | 2018-06-26 |
| 发明（设计）人： | 吴科;同小刚;文静;张传民 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/005 | 分类号： | B24B37/005 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种动态调整安全研磨时间限的方法，包括：第一步骤：获取经验安全时间下限TLCL和为经验安全时间上限TUCL；第二步骤：根据长期研磨速率均值求得基准研磨速率RR；第三步骤：根据控挡片监测获得控挡片研磨速率及APC反馈获得实时研磨速率RRi；第四步骤：获取当前批次前a个批次的研磨速率RRi‑、…1、RRi‑a；第五步骤：根据实际反馈调整反馈强度获取反馈比例系数k；第六步骤：计算实时研磨速率批次的批数a；第七步骤：根据第一公式计算实时安全时间下限TLCLi：TLCLi＝TLCL‑k*TLCL*[(RRi+RRi‑1+…+RRi‑a)/(a+1)‑RR]/RR。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 反馈 动态调整 时间下限 安全 挡片 比例系数 公式计算 强度获取 时间上限 监测 | ||
【主权项】：
1.一种动态调整安全研磨时间限的方法，其特征在于包括：第一步骤：获取经验安全时间下限TLCL和为经验安全时间上限TUCL；第二步骤：根据长期研磨速率均值求得基准研磨速率RR；第三步骤：根据控挡片监测获得控挡片研磨速率及APC反馈获得实时研磨速率RRi；第四步骤：获取当前批次前a个批次的研磨速率RRi‑、…1、RRi‑a；第五步骤：根据实际反馈调整反馈强度获取反馈比例系数k；第六步骤：计算实时研磨速率批次的批数a；第七步骤：根据第一公式计算实时安全时间下限TLCLi：TLCLi＝TLCL‑k*TLCL*[(RRi+RRi‑1+…+RRi‑a)/(a+1)‑RR]/RR。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华力微电子有限公司，未经上海华力微电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610993680.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种可伸缩的音箱支架
- 下一篇：一种研磨机
