[发明专利]光学检测装置及其检测方法有效
| 申请号： | 201610992816.6 | 申请日： | 2016-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN108072613B | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 牛宝华;苏纮仪;庄荣祥 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/17 | 分类号： | G01N21/17 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 马雯雯;臧建明 |
| 地址： | 中国台湾新竹科*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光学检测装置及其检测方法，所述光学检测装置包括光源、光束引导结构、第一光传感器以及处理器。光源用以发出波长介于200纳米至300纳米的激发光束。光束引导结构引导激发光束而照射在样品的薄化区域上以使薄化区域反射激发光束，且光束引导结构适于接收被薄化区域反射的激发光束。光束引导结构用以引导被薄化区域反射的激发光束至第一光传感器，且第一光传感器接收被薄化区域反射的激发光束以产生第一检测信号。处理器电耦接第一光传感器以处理第一检测信号。本申请可以满足当今小尺度的半导体组件的检测需求。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 检测 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光学检测装置，适于对样品进行检测，所述样品具有薄化区域，其特征在于，所述光学检测装置包括：光源，用以发出波长介于200纳米至300纳米的激发光束；光束引导结构，配置于所述激发光束的传递路径上，所述光束引导结构引导所述激发光束而照射在所述薄化区域上以使所述薄化区域反射所述激发光束，所述光束引导结构适于接收被所述薄化区域反射的所述激发光束；第一光传感器，配置于被所述薄化区域反射的所述激发光束的传递路径上，所述光束引导结构用以引导被所述薄化区域反射的所述激发光束至所述第一光传感器，且所述第一光传感器接收被所述薄化区域反射的所述激发光束以产生第一检测信号；以及处理器，电耦接所述第一光传感器以处理所述第一检测信号。
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