[发明专利]设备安全监测系统及方法有效
| 申请号： | 201610976941.8 | 申请日： | 2016-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN108062075B | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 宋鑫钊;黄晶;姚鹏 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 31237 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种设备安全监测系统及复发。本发明提供的设备安全监测系统包括设备设定模块，用于监控设备的异常动作；设备取样模块，用于模拟出设备的基准制程曲线和参考拟合程度值，所述基准制程曲线结合一实时制程曲线获得实时拟合程度值，依据所述参考拟合程度值和实时拟合程度值的大小以及所述异常动作执行动态取样操作；工艺分析模块，用于对设备的异常动作进行分析，并提供改善动作；以及设备改善模块，用于依据动态取样的变动结合改善动作对设备进行维护。通过这四部分的配合工作，将信息实时反馈，避免了设备出现问题发现的滞后性，提高了设备的生产利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 设备 安全 监测 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种设备安全监测系统，包括：/n设备设定模块，用于监控设备的异常动作；/n设备取样模块，用于模拟出设备的基准制程曲线和参考拟合程度值，所述基准制程曲线结合一实时制程曲线获得实时拟合程度值，依据所述参考拟合程度值和实时拟合程度值的大小以及所述异常动作执行动态取样操作；/n工艺分析模块，用于对设备的异常动作进行分析，并提供改善动作；以及/n设备改善模块，用于依据动态取样的变动结合改善动作对设备进行维护。/n
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