[发明专利]一种滤波电路、加热电路和半导体处理设备有效
| 申请号： | 201610976263.5 | 申请日： | 2016-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN108075473B | 公开（公告）日： | 2019-11-29 |
| 发明（设计）人： | 成晓阳;韦刚;于海涛 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H02J3/01 | 分类号： | H02J3/01;H05B6/02;H05B6/36 |
| 代理公司： | 11112 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人： | 彭瑞欣;罗瑞芝<国际申请>=<国际公布> |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种滤波电路、加热电路和半导体处理设备。该滤波电路用于连接在加热源和负载之间，对负载进行滤波；包括并联连接的电感支路和电容支路，电感支路包括变压元件和电感元件，电感元件串联连接于变压元件的初级绕组的两端，用于对负载进行滤波；变压元件的次级绕组用于连接负载，变压元件用于将加热源输出的加热电信号传输至负载。该滤波电路通过将电感支路中的电感元件串接于变压元件初级绕组的两端，电感支路的体积大幅减小，从而使电感支路的占用空间相应减小，进而使整个滤波电路的占用空间大幅减小；该滤波电路的电感支路中元器件的设置数量大大减少，从而不仅降低了滤波电路的器件成本，而且减小了滤波电路的整体体积和占用空间。 | ||
| 搜索关键词： | 滤波电路 电感支路 变压元件 减小 电感元件 占用空间 半导体处理设备 初级绕组 加热电路 加热源 滤波 电信号传输 并联连接 次级绕组 电容支路 器件成本 元器件 串接 加热 输出 | ||
【主权项】：
1.一种滤波电路，用于连接在加热源和负载之间，对所述负载进行滤波；包括并联连接的电感支路和电容支路，其特征在于，所述电感支路包括变压元件和电感元件，所述电感元件串联连接于所述变压元件的初级绕组的两端，用于对所述负载进行滤波；所述变压元件的次级绕组用于连接所述负载，所述变压元件用于将所述加热源输出的加热电信号传输至所述负载；其中，/n所述变压元件包括第一磁芯，所述第一磁芯呈闭合环状；所述电感元件包括第二磁芯，所述第二磁芯连接在所述第一磁芯的第一侧边的两端，且所述第二磁芯与所述第一侧边形成非闭合的开环状结构；/n所述第一侧边上绕制初级线圈形成所述初级绕组，所述第一磁芯的与所述第一侧边相对的第二侧边上绕制次级线圈形成所述次级绕组；/n所述电感元件还包括电感线圈，所述电感线圈绕制在所述第二磁芯上，且与所述初级线圈串联连接；所述次级线圈用于与所述负载并联连接。/n
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