[发明专利]一种具有择优取向的高纯钽靶材的制备方法有效
| 申请号： | 201610971561.5 | 申请日： | 2016-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN106521434B | 公开（公告）日： | 2019-01-22 |
| 发明（设计）人： | 蒋坤林;郑峰;张立强;彭智 | 申请（专利权）人： | 长沙南方钽铌有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22F1/18;C22F1/02 |
| 代理公司： | 北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340 | 代理人： | 陈介雨 |
| 地址： | 410129 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有择优取向的高纯钽靶材的制备方法，该方法步骤包括：(1)将钽锭在锻锤下开坯；(2)对开坯后的钽锭酸洗；(3)酸洗后的钽锭放在真空退火炉中退火处理；(4)对退火处理过的钽材进行第一次轧制；(5)第二次轧制，轧制方向与第一次轧制方向垂直；(6)酸洗；(7)真空热处理炉中真空退火处理；(8)第三次轧制，轧制方向与第一次轧制方向相同；(9)第四次轧制，轧制方向与第三次轧制方向相同；(10)酸洗；(11)真空热处理炉中退火处理。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 择优取向 高纯 钽靶材 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种具有择优取向的高纯钽靶材的制备方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：(1)将钽锭在锻锤下开坯，将钽锭在锻锤下开坯是采用轴向锻造开坯的方式来破碎初始钽锭中粗大的柱状晶；开坯变形量控制为25％到40％，锻造压力控制在1000N到1800N；(2)对开坯后的钽锭酸洗；酸洗溶液配方采用盐酸与氢氟酸的混合溶液，盐酸的浓度为27wt％到40wt％,氢氟酸的浓度为30wt％到50wt％，常温下在酸洗溶液中浸泡10min到20min；(3)酸洗后的钽锭放在真空退火炉中退火处理；真空度控制在10‑2‑10‑4Pa，最高温度控制在900℃到1300℃，最高温度保温时间控制在120min到240min；(4)对退火处理过的钽材进行第一次轧制；轧制时压下量控制在10％到15％；(5)第二次轧制，第二次轧制方向与第一次轧制方向垂直；轧制时压下量控制在10％到15％；(6)酸洗同步骤(2)；(7)真空热处理炉中真空退火处理；真空度控制在10‑2‑10‑4Pa，退火温度控制在700℃到1000℃，保温时间控制在120min到240min；(8)第三次轧制，第三次轧制方向与第一次轧制方向相同；轧制时压下量控制在20％到25％；(9)第四次轧制，第四次轧制方向与第三次轧制方向相同；轧制时压下量控制在20％到25％；(10)酸洗；酸洗溶液配方为盐酸与氢氟酸的混合溶液，盐酸的浓度为17wt％到30wt％,氢氟酸的浓度为10wt％到30wt％，常温下在酸洗溶液中浸泡5min到10min；(11)真空热处理炉中退火处理；真空度控制在10‑2‑10‑4Pa，退火温度700℃到900℃，保温时间100min到150min。
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