[发明专利]微流控可置换腔体结构的自校准海洋多参数化学传感器有效
| 申请号： | 201610969724.6 | 申请日： | 2016-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN106290515B | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | 许丽萍;邓云;吴晟;高坤;车亚辰;梁津津 | 申请（专利权）人： | 国家海洋技术中心 |
| 主分类号： | G01N27/30 | 分类号： | G01N27/30 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 李成运 |
| 地址： | 300112 *** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微流控可置换腔体结构的自校准海洋多参数化学传感器，包括采用微电子制造工艺集成的阵列传感部、控制模块、电源；所述阵列传感部设有若干呈阵列分布的微型传感芯片，以及对应微型传感芯片设置的微流控自校准装置；所述微型传感芯片和所述微流控自校准装置连接所述控制模块，所述电源为所述控制模块供电。本发明所述的海洋多参数化学传感器实现了器件的微型化、阵列化和芯片化，实现了关键探头部分的微流控可置换腔体结构和自校准系统设计，提高了深海化学参数长期测量的精度，也降低了探头的生产成本，更加有利于探头的国产化、商业化发展。 | ||
| 搜索关键词： | 微流控可 置换 结构 校准 海洋 参数 化学 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种微流控可置换腔体结构的自校准海洋多参数化学传感器，其特征在于，包括采用微电子制造工艺集成的阵列传感部、控制模块、电源；所述阵列传感部设有若干呈阵列分布的微型传感芯片，以及对应微型传感芯片设置的微流控自校准装置；所述微型传感芯片和所述微流控自校准装置连接所述控制模块，所述电源为所述控制模块供电；所述微型传感芯片包括pH传感芯片和气体传感芯片；所述pH传感芯片包括基于纳米线增强型的独立柔性栅极半导体场效应管离子型pH探头，将离子半导体场效应管改进为扩展栅场效应管；设有柔性敏感栅极薄膜和扩展栅场效应管Extended Gate Field Effect Transistors‑EGFET；所述气体传感芯片设有基于高选择性渗透膜技术的气液分离测试腔；通过敏感电极/参比电极与柔性基底集成，形成微型平面结构的可置换气体探测单元。
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