[发明专利]一种热处理装置的快速风冷结构在审

专利信息
申请号: 201610968368.6 申请日: 2016-10-28
公开(公告)号: CN106384722A 公开(公告)日: 2017-02-08
发明(设计)人: 康飞;赵燕平;刘红丽;邱江红 申请(专利权)人: 北京七星华创电子股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)31275 代理人: 陶金龙,张磊
地址: 100016 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种热处理装置的快速风冷结构,快速风冷结构嵌设于保温层中,包括环状侧部保温块,设于保温层侧壁处,其圆周设有上下贯通的纵向风道,沿纵向风道侧壁设有连通炉膛的多数个径向风道;环状顶部进风保温块,设于保温层顶部处,并与环状侧部保温块上端对应接合,其沿圆周下端设有进风环槽,进风环槽设有连通保温层外部的进风口,进风环槽连通纵向风道;顶部排热保温块,设于保温层顶部处,并与环状顶部进风保温块上端对应接合,其设有连通炉膛及保温层外部的排风口;通过进风口导入冷却气流,依次经进风环槽、纵向风道、径向风道进入炉膛,经换热后由排风口排出,可以对炉膛进行快速降温的强制冷却。
搜索关键词: 一种 热处理 装置 快速 风冷 结构
【主权项】:
一种热处理装置的快速风冷结构,所述热处理装置自内而外设有处理容器、加热器,加热器设有包围处理容器的保温层及敷设于保温层内壁处的加热丝,保温层与处理容器之间的空间构成炉膛,其特征在于,所述快速风冷结构嵌设于保温层中,包括:环状侧部保温块,设于保温层侧壁处,其圆周设有上下贯通的纵向风道,沿所述纵向风道侧壁设有连通炉膛的多数个径向风道;环状顶部进风保温块,设于保温层顶部处,并与环状侧部保温块上端对应接合,其沿圆周下端设有进风环槽,所述进风环槽设有连通保温层外部的进风口,所述进风环槽连通纵向风道;顶部排热保温块,设于保温层顶部处,并与环状顶部进风保温块上端对应接合,其设有连通炉膛及保温层外部的排风口;其中,通过进风口导入冷却气流,依次经进风环槽、纵向风道、径向风道进入炉膛,经换热后由排风口排出,以对炉膛进行快速降温的强制冷却。
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