[发明专利]纳米/微米复合图形化蓝宝石衬底及其制备方法在审
| 申请号： | 201610965112.X | 申请日： | 2016-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN106384770A | 公开（公告）日： | 2017-02-08 |
| 发明（设计）人： | 周泉斌;徐明升;王洪 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | H01L33/20 | 分类号： | H01L33/20;H01L33/00;H01L21/3065;B81B1/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司44102 | 代理人： | 何淑珍 |
| 地址： | 510640 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提出纳米/微米复合图形化蓝宝石衬底及其制备方法。该蓝宝石衬底上具有纳米量级图形和微米量级图形相结合的复合图形。制备方法包括在蓝宝石衬底上制备微米量级的图形；在微米量级的图形上沉积镍薄膜；使镍薄膜团聚成大量的镍纳米颗粒；以镍纳米颗粒作为掩模，通过干法刻蚀将镍纳米颗粒的图形转移到蓝宝石衬底上，在蓝宝石衬底的微米量级的图形上形成纳米图形；去除镍纳米颗粒腐蚀；对衬底进行清洗，最终得到具有纳米微米复合图形的蓝宝石衬底。本发明对微米量级的图形进行纳米粗化，增加了外延的侧向生长，进一步地改善外延薄膜的晶体质量，更有效的改变光的传播方向，提高光逸出的几率，增加蓝宝石衬底GaN基LED的内量子效率和光提取效率。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 微米 复合 图形 蓝宝石 衬底 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
纳米/微米复合图形化蓝宝石衬底，其特征是，该蓝宝石衬底上具有纳米量级图形和微米量级图形相结合的复合图形，通过利用ICP干法刻蚀工艺，以镍纳米颗粒为掩模，在所述微米量级图形上制备所述纳米量级图形。
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