[发明专利]氢气中痕量磷杂质的检测装置及检测方法有效
| 申请号： | 201610964088.8 | 申请日： | 2016-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN106526015B | 公开（公告）日： | 2020-05-05 |
| 发明（设计）人： | 刘文明;张鹏;田洪先;刘强;孟凡江;贺璨;帅安强;黄宗武 | 申请（专利权）人： | 中国南玻集团股份有限公司;宜昌南玻硅材料有限公司 |
| 主分类号： | G01N30/02 | 分类号： | G01N30/02;G01N30/60;G01N30/74 |
| 代理公司： | 宜昌市三峡专利事务所 42103 | 代理人： | 彭永念 |
| 地址： | 湖北省宜*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氢气中痕量磷杂质的检测装置及检测方法，其先采用变温浓缩装置对氢气中的磷杂质进行浓缩，然后将其解吸后用气相色谱仪FPD检测器检测磷杂质的峰面积，外标法定量，检出限低至亚ppb级，能满足电子级多晶硅对氢气的质量要求。本发明检出限低，操作简单，半小时即能完成检测过程，检测结果重复性好。能准确检测多晶硅生产用氢气中痕量磷杂质的含量，对多晶硅产品质量控制具有重要意义。 | ||
| 搜索关键词： | 氢气 痕量 杂质 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
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