[发明专利]一种气囊式电化学机械抛光头、抛光装置及抛光方法

摘要

一种气囊式电化学机械抛光头、抛光装置及抛光方法，涉及超精密加工技术领域。本发明的抛光头在传统的气囊抛光头材料层间增加了一层导电层，即该抛光头的结构依次为橡胶囊基体、导电层和抛光材料层。本发明的抛光方法按照下述步骤进行：将需要进行抛光处理的硬脆材料工件固定在电解池中；在抛光头与工件表面之间加入电解液；在超声椭圆振动与外加电场的作用下，硬脆材料的被抛光面与气囊式电化学机械抛光头形成摩擦副；摩擦副在电解液、超声振动及外加电场的作用下对工件进行抛光。本发明利用超声椭圆振动提高了电解液的效能，达到改善抛光效果的目的；提高了硬脆材料的表面抛光精度，其加工去除率较传统化学机械抛光有一个量级以上的提高。

主权项

1.一种气囊式电化学机械抛光头，包括球冠形气囊、外支架、内支架、转轴和垫片，球冠形气囊包括底层的橡胶囊基体和外层的聚氨酯抛光膜，外支架与内支架固定连接，球冠形气囊的开口端套在内支架的底端，外支架与内支架共同支撑固定球冠形气囊，球冠形气囊与外支架的接触部分设置有垫片，内支架与转轴固定连接；其特征在于，在橡胶囊基体与聚氨酯抛光膜之间设有一层导电层，该导电层由导电聚合物粘贴在底层橡胶囊基底的球冠表面上形成，聚氨酯抛光膜胶粘在导电层的外表面。