[发明专利]射频源高密度低能离子束生物改性设备在审
| 申请号： | 201610957839.3 | 申请日： | 2016-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN106561447A | 公开（公告）日： | 2017-04-19 |
| 发明（设计）人： | 滕海燕 | 申请（专利权）人： | 合肥优亿科机电科技有限公司 |
| 主分类号： | A01H1/06 | 分类号： | A01H1/06 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙)34115 | 代理人： | 娄岳;金凯 |
| 地址： | 230888 安徽省合肥市高*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种射频源高密度低能离子束生物改性设备，包括实验腔以及置于实验腔进气端外的离子源和置于实验腔内用于放置样品的载物台，所述离子源包括石英罩以及置于石英罩外侧的射频线圈，该石英罩与实验腔之间通过引出系统连接，所述引出系统包括磁体线圈、电子腔以及置于电子腔内的引出极，该电子腔与实验腔连通，所述磁体线圈置于石英罩的外侧，所述射频线圈在石英罩内产生射频等离子体，经过引出系统的加速，对载物台上的样品进行生物改性。本发明射频离子源没有阴极，不会产生阴极蒸发，不会产生二次电子发射，不会污染等离子体，可以形成非常纯净的离子束。 | ||
| 搜索关键词： | 射频 高密度 低能 离子束 生物 改性 设备 | ||
【主权项】：
一种射频源高密度低能离子束生物改性设备，包括实验腔以及置于实验腔进气端外的离子源和置于实验腔内用于放置样品的载物台，其特征在于，所述离子源包括石英罩以及置于石英罩外侧的射频线圈，该石英罩与实验腔之间通过引出系统连接，所述引出系统包括磁体线圈、电子腔以及置于电子腔内的引出极，该电子腔与实验腔连通，所述磁体线圈置于石英罩的外侧，所述射频线圈在石英罩内产生射频等离子体，经过引出系统的加速，对载物台上的样品进行生物改性。
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