[发明专利]计算全息法测量长焦距透镜透射波前的检测装置及检测方法有效
| 申请号： | 201610951248.5 | 申请日： | 2016-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN106441816B | 公开（公告）日： | 2018-10-09 |
| 发明（设计）人： | 魏小红;何宇航;柴立群;高波;徐凯源;李强;刘昂 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 谢建;赵宇 |
| 地址： | 621900*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种计算全息法测量长焦距透镜透射波前的检测装置及检测方法，属于光学测量技术领域。其主要由干涉仪、被测长焦距透镜和菲涅尔波带片组成菲索干涉光路，干涉仪输出的准直平行光通过标准平面镜时，一束由标准平面镜参考面反射形成标准参考光束，另一束透过被测长焦距透镜透射、经波带片反射沿原路返回形成测试光束；测试光束与标准参考光束发生干涉，调整被测长焦距透镜，使干涉条纹最少，即可测量得到被测长焦距透镜的透射波前。本发明适用于长焦距透镜的透射波前的检测。 | ||
| 搜索关键词： | 计算 全息 测量 焦距 透镜 透射 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种全息法测量长焦距透镜透射波前的检测装置，其特征在于：包括干涉仪(1)，干涉仪(1)外侧沿远离干涉仪(1)的方向依次设置有被测长焦距透镜(3)、菲涅尔波带片(4)；干涉仪(1)输出的准直平行光通过干涉仪(1)端部的标准平面镜(2)时，一部分准直平行光经标准平面镜(2)反射形成标准参考光束，另一部分准直平行光依次透过标准平面镜(2)、被测长焦距透镜(3)后在菲涅尔波带片(4)上产生反射并沿原路返回形成测试光束，测试光束与标准参考光束产生干涉条纹；菲涅尔波带片(4)的第一级衍射曲率半径R与被测长焦距透镜(3)的焦距f满足关系：f＝R+τ，其中τ为波带片与透镜之间的间距；菲涅尔波带片(4)的各环带的半径参数为rn：![]()
(2ρn‑2R＝n(λ/2))，其中，ρn为第n环带到焦点F的光程，R为波带片的曲率半径，n为自然数，λ为准直平行光的波长。
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