[发明专利]一种半导体行业含双氧水废水的处理方法及处理装置在审
| 申请号： | 201610949936.8 | 申请日： | 2016-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN108017183A | 公开（公告）日： | 2018-05-11 |
| 发明（设计）人： | 黄攀峰;张云秀;王春冬;徐鸣;厉晓华 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | C02F9/04 | 分类号： | C02F9/04;B01D53/78;B01D53/58;C02F103/34;C02F101/10 |
| 代理公司： | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人： | 董巍;高伟 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种半导体行业含双氧水废水的处理方法及处理装置，所述处理装置包括：调节槽，用于调节所述废水的pH值；反应塔，连接所述调节槽，用于使从所述调节槽出来的废水中的双氧水分解；吹脱塔，连接所述反应塔，用于对从所述反应塔出来的废水进行氨氮吹脱；吸收塔，连接所述吹脱塔，所述氨氮吹脱产生的氨气进入所述吸收塔中被吸收；其中，经所述吹脱后的废水进入与吹脱塔相连接的氢氟系统后再排放。本发明的处理装置及处理方法无需新建系统，且运行成本非常低；锰砂价低易得，更换方便；另外，催化反应放热，有助于提高氨气的吹脱效果；且解决了废水中生成的氧气对离心泵的气蚀作用，提高了泵浦的运行寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 行业 双氧水 废水 处理 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种半导体行业含双氧水废水的处理装置，其特征在于，包括：调节槽，用于调节所述废水的pH值；反应塔，连接所述调节槽，用于使从所述调节槽出来的废水中的双氧水分解；吹脱塔，连接所述反应塔，用于对从所述反应塔出来的废水进行氨氮吹脱；吸收塔，连接所述吹脱塔，所述氨氮吹脱产生的氨气进入所述吸收塔中被吸收；其中，经所述吹脱后的废水进入与吹脱塔相连接的氢氟系统后再排放。
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