[发明专利]电子输运通道为斜跃迁‑微带型的量子级联红外探测器有效
申请号: | 201610948341.0 | 申请日: | 2016-10-26 |
公开(公告)号: | CN106340553B | 公开(公告)日: | 2018-02-13 |
发明(设计)人: | 王风娇;任飞;刘舒曼;翟慎强;刘俊岐;梁平;刘峰奇;王占国 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | H01L31/0352 | 分类号: | H01L31/0352;H01L31/09 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人: | 汤保平 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种电子输运通道为斜跃迁‑微带型的量子级联红外探测器,包括一衬底;一下接触层,其外延于衬底上;一功能层,其外延于下接触层上面;一上接触层,其外延于功能层上;一上接触电极,其制作在上接触层的表面;一下接触电极,其制作在下接触层的表面,位于功能层的周围。本发明具有低噪声的同时具有高的响应率。 | ||
搜索关键词: | 电子 输运 通道 跃迁 微带 量子 级联 红外探测器 | ||
【主权项】:
一种电子输运通道为斜跃迁‑微带型的量子级联红外探测器,包括:一衬底;一下接触层,其外延于衬底上;一功能层,其外延于下接触层上面,该功能层由啁啾超晶格组成,通过啁啾超晶格的设计来实现一个“斜跃迁‑微带”型的电子输运通道,电子吸收红外光后,在所设计的能级间跃迁从而实现红外光探测;该功能层由啁啾超晶格组成,每个周期中包含了吸收区、微带区以及电子弛豫区,利用微带的能级展宽来增加吸收系数和抽取效率从而提高探测器的响应率;一上接触层,其外延于功能层上;一上接触电极,其制作在上接触层的表面;一下接触电极,其制作在下接触层的表面,位于功能层的周围。
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H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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