[发明专利]柔性AMOLED显示器的制作方法

摘要

本发明提供一种柔性AMOLED显示器的制作方法，通过在刚性基板上制作柔性衬底之前，首先在刚性基板上形成一表面平坦的无机物膜层，之后在所述无机物膜层上涂覆聚合物材料，形成柔性衬底，不仅能够避免刚性基板表面因清洗不良残存的杂质颗粒造成柔性衬底凹陷和凸起不良的问题，而且能够在柔性衬底与刚性基板的剥离制程中使所述柔性衬底与刚性基板容易分离，保护柔性衬底免受损伤，从而使制得的柔性AMOLED显示器的柔性衬底具有较高的平坦化程度，提升柔性衬底的阻水阻氧性能，并确保柔性AMOLED显示器的光学性能。

主权项

1.一种柔性AMOLED显示器的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1、提供一刚性基板(10)，对所述刚性基板(10)进行清洗；步骤2、在所述刚性基板(10)上形成一表面平坦的无机物膜层(20)；步骤3、在所述无机物膜层(20)上涂覆聚合物材料，干燥与固化后，形成一柔性衬底(30)；步骤4、在所述柔性衬底(30)上制作薄膜晶体管阵列层(40)，在所述薄膜晶体管阵列层(40)上制作OLED器件(50)，并对所述OLED器件(50)与薄膜晶体管阵列层(40)进行封装，在所述柔性衬底(30)与OLED器件(50)上形成包覆所述OLED器件(50)与薄膜晶体管阵列层(40)外表面的封装结构层(60)；步骤5、将所述柔性衬底(30)从所述无机物膜层(20)上剥离，制得一柔性AMOLED显示器(70)；所述步骤5中，采用激光剥离技术将所述柔性衬底(30)从所述无机物膜层(20)上剥离；所述步骤1中，所述刚性基板(10)为玻璃基板；所述步骤2中，采用等离子体增强化学气相沉积法形成所述无机物膜层(20)。