[发明专利]一种半导体晶片notch槽晶向测量装置及使用方法在审
| 申请号： | 201610939926.6 | 申请日： | 2016-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN106370679A | 公开（公告）日： | 2017-02-01 |
| 发明（设计）人： | 陶术鹤;王云彪;马玉通;陆峰;张贺强;吕菲 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十六研究所 |
| 主分类号： | G01N23/20 | 分类号： | G01N23/20 |
| 代理公司： | 天津中环专利商标代理有限公司12105 | 代理人： | 胡京生 |
| 地址： | 300220*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种半导体晶片Notch槽晶向测量的装置及使用方法，采用X射线定向仪，X射线定向仪的圆形工作台上有数个带凹槽的通螺纹孔为定位柱孔，圆心在以圆形工作台上的X射线测量点到测量台圆心连线为基准线、按外圆逆时针旋转90°、以D–r为半径的圆上一点，其中D为被测晶片的半径、r为notch槽定位柱半径，notch槽定位柱固定于定位柱孔中，将被测半导体晶片放在工作台上并使notch槽缺口处放在定位柱处卡住，打开光栅，打开电源开关，摇动工作台转轴，直到电流表指针达到最大值，表征notch槽晶向位置，技术效果是结构简单，操作方便、测量准确，效率高，能够避免因测量过程中与仪器金属部件过多的接触带来晶片边缘的损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 晶片 notch 测量 装置 使用方法 | ||
【主权项】：
一种半导体晶片notch槽晶向测量装置，包括X射线定向仪（1）、notch槽定位柱（2），其特征在于：X射线定向仪（1）的圆形工作台上有数个带凹槽的通螺纹孔为定位柱孔（1‑1），圆心在以圆形工作台上的X射线测量点（1‑2）到测量台圆心连线为基准线、按外圆逆时针旋转90°、以D–r为半径的圆上一点，其中D为被测晶片的半径r为notch槽定位柱（2）半径，所述的notch槽定位柱（2）为不同直径组成的圆柱体，分别为与定位柱孔（1‑1）螺纹孔尺寸相同的螺纹柱、与定位柱孔（1‑1）凹槽尺寸相同的柱体、与被测半导体晶片notch槽尺寸相同的光滑圆柱，notch槽定位柱（2）根据被测半导体晶片直径，拧入不同位置的定位柱孔（1‑1）内固定，使notch槽定位柱（2）中部的圆柱体上平面与X射线定向仪（1）的圆形工作台上平面相平。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国电子科技集团公司第四十六研究所，未经中国电子科技集团公司第四十六研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201610939926.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
