[发明专利]基于瑞利波模式的声表面波双谐振器一体化扭矩传感器在审
| 申请号： | 201610935642.X | 申请日： | 2016-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN106404247A | 公开（公告）日： | 2017-02-15 |
| 发明（设计）人： | 齐红丽;吉小军;陈奕;王跃武;吴承勇;倪晋权 | 申请（专利权）人： | 中国船舶重工集团公司第七0四研究所 |
| 主分类号： | G01L3/02 | 分类号： | G01L3/02 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司31001 | 代理人： | 吴宝根 |
| 地址： | 200031*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于瑞利波模式的声表面波双谐振器一体化扭矩传感器，包括转轴弹性体和阅读器，转轴弹性体表面上固定有长方形石英基片，石英基片上通过IC工艺一次制作有两个正交放置的声表面波谐振器，声表面波谐振器谐振的方向分别与石英晶轴X对称成±45°，两个声表面波谐振器的IDT的两个上下电极分别通过汇流金属排连接，构成并联差分结构，转轴弹性体粘贴测量时通过工艺保障石英基片长边与转轴轴线平行，两个声表面波谐振器和被测转轴附近的阅读器通过天线接收发射激励信号和发射接收谐振器的响应信号，实现对扭矩的实时测量。本发明结构易于实现，并且此结构提高扭矩的测量便利性和精度，为扭矩传感器设计和转轴扭矩测量提供新的技术手段。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 瑞利 模式 表面波 谐振器 一体化 扭矩 传感器 | ||
【主权项】：
一种基于瑞利波模式的声表面波双谐振器一体化扭矩传感器，其特征在于，包括转轴弹性体和阅读器，转轴弹性体表面上固定有长方形石英基片，石英基片上通过IC工艺一次制作有两个正交放置的声表面波谐振器，声表面波谐振器谐振的方向分别与石英晶轴X对称成±45°，两个声表面波谐振器的IDT的两个上下电极分别通过汇流金属排连接，构成并联差分结构，转轴弹性体粘贴测量时通过工艺保障石英基片长边与转轴轴线平行，两个声表面波谐振器通过天线接收激励信号和发射谐振器的响应信号，被测转轴附近的阅读器发射激励信号和接收谐振器的回波信号，实现对扭矩的实时测量。
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