[发明专利]一种数据采集系统及采集方法有效
| 申请号： | 201610934139.2 | 申请日： | 2016-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN108008658B | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 赵娟 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/042 | 分类号： | G05B19/042 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种数据采集系统及采集方法，该系统包括：上位机；运动控制机箱，包括运动主控卡、运动控制板卡、IO板卡、数据采集卡以及设于机箱背板上且与运动主控卡、运动控制板卡、IO板卡和数据采集卡连接的第一GbE控制总线、第一SRIO数据总线和第一同步总线，运动主控卡与上位机连接；数据采集机箱，包括数据主控卡、数据接收卡以及设于机箱背板上且与数据主控卡和数据接收卡连接的第二GbE控制总线、第二SRIO数据总线和第二同步总线，数据主控卡与上位机连接。本发明采用数据采集机箱在不影响同步伺服控制的前提下采集运动控制机箱中的数据，提升了海量数据采集的实时性和可靠性，满足了光刻机对实时性和大数据性的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 数据 采集 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种数据采集系统，其特征在于，包括：上位机；运动控制机箱，包括运动主控卡、若干运动控制板卡、IO板卡、数据采集卡以及设于机箱背板上且与所述运动主控卡、运动控制板卡、IO板卡和数据采集卡连接的第一GbE控制总线、第一SRIO数据总线和第一同步总线，所述运动主控卡与所述上位机连接；数据采集机箱，包括数据主控卡、数据接收卡以及设于机箱背板上且与所述数据主控卡和数据接收卡连接的第二GbE控制总线、第二SRIO数据总线和第二同步总线，所述数据主控卡与所述上位机连接。
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