[发明专利]一种含硅有机-无机杂化分子及其合成、组装和应用

摘要

本发明公布了一种含硅有机‑无机杂化分子及其合成、组装和应用。所述有机‑无机杂化分子是以六苯并蔻(HBC)为核，通过共价键将笼型倍半硅氧烷(POSS)连接在其周围形成的具有较大分子量的HBC‑POSS分子。这类分子具有两种纳米尺寸的构筑单元，能够自组装形成尺寸在10nm以下的有序结构，通过氧等离子体刻蚀，可以得到10nm以下的纳米模板，为解决用于半导体工业的纳米模板尺寸的瓶颈提供新的可能。

主权项

1.一种有机-无机杂化分子，具有如式I所示的以六苯并蔻为核心的结构：式I中，R1、R2、R3、R4、R5和R6相同或不同，其中至少有二个为如下式II所示的末端为笼型倍半硅氧烷的基团，其余的为烷基或烷氧基；式II中，R7为含亚烷基、亚烯基、亚炔基和/或亚芳基的链状基团，波浪线代表与六苯并蔻核心的连接键；R8、R9、R10、R11、R12、R13和R14相同或不同，各自独立为烷基、烷氧基、环烷基、烯基、炔基或芳基；X代表O或NH；n为1～6的整数。