[发明专利]一种晶棒的制作方法在审
| 申请号： | 201610928820.6 | 申请日： | 2016-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN106544738A | 公开（公告）日： | 2017-03-29 |
| 发明（设计）人： | 谢斌晖;胡中伟;林武庆;赖柏帆;廖桂芬 | 申请（专利权）人： | 福建晶安光电有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;C30B29/20;C30B29/36;C30B29/42 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 362411 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶棒的制作方法，其特征在于，在线切割前将已完成掏棒工艺的晶棒放入高温退火炉中进行退火，其退火工艺过程主要包括升温过程、恒温过程、降温过程，本发明提供的一种用于蓝宝石晶棒的退火工艺方法，通过对不同长晶和掏棒工艺下生产的晶棒进行统一退火处理，消除晶棒内部残余应力，提高蓝宝石晶棒材质的一致性，提高后段晶圆加工、外延的良率和均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制作方法 | ||
【主权项】：
一种晶棒的制作方法，包括步骤：（1）长晶后对晶体进行掏棒，得到晶棒；（2）对所述晶棒进行退火工艺，退火工艺依次包括：升温过程、恒温过程、降温过程。
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