[发明专利]一种晶圆蓝膜张紧和角度调节装置

摘要

本发明涉及一种晶圆蓝膜张紧和角度调节装置，该装置的旋转驱动机构和固定套固定连接在X板上；上轴承中间套位于固定套与轴承内套之间；同步带连接旋转驱动机构的小带轮和上轴承中间套；多个小齿轮组件分布在轴承内套的导向轴孔内；小齿轮套装在螺杆的下部，螺母安放在小齿轮的内孔内，螺杆与螺母构成螺栓配合，螺杆的顶部与晶圆安装盘固定连接，小齿轮与上轴承中间套的内齿啮合；晶圆盘压紧在晶圆安装盘上；撑膜盘固定在轴承内套内侧边缘上，其上端面支撑晶圆盘；上轴承中间套带动小齿轮旋转时，可通过螺杆与螺母的配合使螺杆上升或下降。本发明能够可靠稳定的夹持晶圆盘，实现蓝膜角度调节和张紧，通用性好。

主权项

1.一种晶圆蓝膜张紧和角度调节装置，其特征在于包括旋转驱动机构，同步带(56)，上轴承中间套(13)，固定套(14)，轴承内套(16)，多个小齿轮组件，撑膜盘(48)，晶圆安装盘(47)，挡板组件；所述旋转驱动机构与X板(11)固定连接，固定套(14)固定连接在X板(11)上；上轴承中间套(13)位于固定套(14)与轴承内套(16)之间；同步带(56)连接旋转驱动机构的小带轮(57)和上轴承中间套(13)，旋转驱动机构可以通过同步带(56)带动上轴承中间套(13)旋转；多个小齿轮组件分布在轴承内套(16)的导向轴孔内；小齿轮组件包括小齿轮(23)和螺杆(12)；小齿轮(23)套装在螺杆(12)的下部，螺母(17)安放在小齿轮(23)的内孔内，螺杆(12)与螺母(17)构成螺栓配合，螺杆(12)的顶部与晶圆安装盘(47)固定连接，小齿轮(23)与上轴承中间套(13)的内齿啮合；晶圆盘压紧在晶圆安装盘(47)上；撑膜盘(48)固定在轴承内套(16)内侧边缘上，其上端面支撑晶圆盘；上轴承中间套(13)带动小齿轮(23)旋转时，可通过螺杆(12)与螺母(17)的配合使螺杆上升或下降。