[发明专利]用于测量被测物在参考物上的平面位置的方法有效
| 申请号： | 201610921419.X | 申请日： | 2016-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN107977994B | 公开（公告）日： | 2023-02-28 |
| 发明（设计）人： | 陈宗豪;黄佩森 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G06T7/70 | 分类号： | G06T7/70;G06T5/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 骆希聪 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种用于测量被测物在参考物上的平面位置的方法，包括：使被测物与参考物相对平移，其中参考物配备有二维周期图案，并且被测物配备有用于拍摄二维周期图案的图像信号的读头；由读头拍摄二维周期图案的图像信号；对图像信号进行离散傅里叶变换以获得频谱；分别确定频谱在X轴和Y轴方向上的基频点P |
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| 搜索关键词： | 用于 测量 被测物 参考 平面 位置 方法 | ||
【主权项】：
一种用于测量被测物在参考物上的平面位置的方法，包括下列步骤：使被测物与参考物之间相对平移，其中所述参考物配备有二维周期图案，并且所述被测物配备有用于拍摄所述二维周期图案的图像信号的读头；由读头拍摄二维周期图案的图像信号；对所述图像信号进行离散傅里叶变换以获得所述图像信号的频谱；分别确定所述频谱在X轴和Y轴方向上的基频点Px和Py；确定所述基频点Px和Py的相位φx和φy并且将所述相位归一化为0至2π；以及根据归一化的相位φx和φy以及根据二维周期图案在X轴和Y轴方向上的周期长度Tx和Ty来确定被测物在参考物上的X和Y方向上的周期内位置Lx和Ly。
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