[发明专利]一种在网板上制作图形的方法在审
| 申请号： | 201610906631.9 | 申请日： | 2016-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN106292178A | 公开（公告）日： | 2017-01-04 |
| 发明（设计）人： | 贾云涛 | 申请（专利权）人： | 贾云涛 |
| 主分类号： | G03F1/68 | 分类号： | G03F1/68;G03F1/00;B41C1/14 |
| 代理公司： | 中国商标专利事务所有限公司11234 | 代理人： | 宋义兴 |
| 地址： | 100085 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种制作丝网印刷用网板的掩膜版的方法，包括：对固定在载体上的构成丝网的微观结构进行图像识别的光电扫描；在电子计算机上对丝网的丝线的扫描结果生成空间关系结构模型；电子计算机根据生成的丝网模型建模，可生成掩膜版图形；制作带有栅线图形的掩膜版。本发明还提供了利用所制作的掩膜版在网板上制作图形的方法。本发明所提供的制作掩膜版和在网板上制作图形的方法，能够根据丝网的丝线走势制作掩膜版的栅线图形，从而避免了或尽可能的避免了网板上制作的槽线(印刷图形)与丝网的丝线交叉的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 网板上 制作 图形 方法 | ||
【主权项】：
一种制作掩膜版的方法，其特征在于，包括：对固定在载体上的丝网微观结构进行图像识别的光电扫描，在电子计算机上对丝网丝线的扫描结果生成空间关系的结构模型；电子计算机根据生成的丝网丝线的空间结构关系模型建模，生成掩膜版图形；制作带有栅线图形的掩膜版。
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G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版，例如掩膜，光掩膜；其所用空白掩膜或其所用薄膜；其专门适用于此的容器；其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜，例如通过电子束；其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜，例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM]；PSM空白；其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜；其制备，例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜，例如用于校准或测试的特殊涂层或标记；其制备
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