[发明专利]用于大型天文望远镜主镜的金增强型反射膜系及制备方法有效
申请号: | 201610906540.5 | 申请日: | 2016-10-18 |
公开(公告)号: | CN106291908B | 公开(公告)日: | 2021-05-11 |
发明(设计)人: | 王晋峰;王烨儒;田杰;李新南 | 申请(专利权)人: | 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所 |
主分类号: | G02B23/16 | 分类号: | G02B23/16;G02B5/08 |
代理公司: | 江苏致邦律师事务所 32230 | 代理人: | 栗仲平 |
地址: | 210042 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 用于大型天文望远镜主镜的金增强型反射膜系及制备方法,该金增强反射膜系结构如下,自主镜表面开始,依次为:打底层、金层、过渡层、介质增强膜系层;其中打底层采用铬、镍铬合金,厚度10nm‑25nm;金膜层厚度95nm‑105nm;过渡层采用二氧化铪,厚度15nm‑150nm;介质增强膜系层采用二氧化硅、五氧化二钽或二氧化硅、二氧化铪或二氧化硅、五氧化三钛或三种搭配的任意组合。本发明在近紫外、可见光与红外波段均具有高反射效率同时兼具优良的环境稳定性与较长使用寿命,光谱反射效率在可见光波段高出约8%;膜层更加耐用;使用反射波段拓展至近紫外与可见光波段;本发明膜层带来的应力要远远小于全介质反射镜。 | ||
搜索关键词: | 用于 大型 天文望远镜 增强 反射 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种用于大型天文望远镜主镜的金增强型反射膜系,其特征在于,该金增强反射膜系结构如下,自主镜表面开始,依次为:打底层、金层、过渡层、介质增强膜系层;其中打底层采用铬、镍铬合金,厚度10nm‑25nm;金膜层厚度95nm‑105nm;过渡层采用二氧化铪,厚度15nm‑150nm;介质增强膜系层采用二氧化硅、五氧化二钽或二氧化硅、二氧化铪或二氧化硅、五氧化三钛或三种搭配的任意组合。
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