[发明专利]光学元件磨削加工面形误差和平行度误差的控制方法有效
| 申请号： | 201610903213.4 | 申请日： | 2016-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN106425701B | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | 周炼;张剑锋;陈贤华;张清华;刘民才;赵世杰;谢瑞清;王健 | 申请（专利权）人： | 成都精密光学工程研究中心 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B13/00;B24B13/005;B24B49/00 |
| 代理公司： | 成都希盛知识产权代理有限公司 51226 | 代理人： | 蒲敏 |
| 地址： | 610041 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供一种大口径薄板光学元件磨削加工面形误差和平行度误差控制控制方法。光学元件磨削加工面形误差和平行度误差的控制方法，该方法包括以下步骤：1)磨削真空吸盘；2)磨削元件；3)面形误差控制；4)平行度误差控制。本发明基于真空吸附的装夹方法，提高薄板元件表面每一点的支承刚度，减少加工过程中让刀变形，并且结合面形误差在位测量技术和补偿磨削技术，实现了薄板元件面形误差和平行度误差的确定性与稳定性收敛，实现了面形误差和平行度误差的高效稳定控制。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 元件 磨削 加工 误差 平行 控制 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
1.光学元件磨削加工面形误差和平行度误差的控制方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：1)磨削真空吸盘：按照平面磨削轨迹磨削真空吸盘(3)表面；2)磨削元件：将大口径薄板光学元件(1)放置于真空吸盘(3)表面吸附孔区域，按照平面磨削轨迹磨削大口径薄板光学元件(1)上表面；3)面形误差控制：真空吸附大口径薄板光学元件(1)，以大口径薄板光学元件(1)下表面和真空吸盘(3)表面之间空气间隙层的误差分布F进行补偿磨削加工，待大口径薄板光学元件(1)磨全后，在位测量大口径薄板光学元件(1)上表面的面形，完成面形误差控制；4)平行度误差控制：以大口径薄板光学元件(1)上表面朝下真空吸附装夹于真空吸盘(3)表面，以真空吸盘(3)的面形误差F0进行补偿加工大口径薄板光学元件(1)下表面，待大口径薄板光学元件(1)磨全后，测量大口径薄板光学元件(1)不同点位的厚度，得到大口径薄板光学元件(1)上、下表面的平行度误差。
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