[发明专利]一种多晶炉真空泵故障跨接挽救装置在审
| 申请号： | 201610902114.4 | 申请日： | 2016-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN106544725A | 公开（公告）日： | 2017-03-29 |
| 发明（设计）人： | 於俊杰;丁海;张仁全 | 申请（专利权）人： | 镇江荣德新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙)32249 | 代理人： | 张耀文 |
| 地址： | 212200 江苏省镇*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶炉真空泵故障跨接挽救装置，包括第一多晶炉、与第一多晶炉相邻的第二多晶炉；第一多晶炉的排气管与第一真空泵的进气管连接；第二多晶炉的排气管与第二真空泵的进气管，以及备用气管的一端通过三通接头连接；第一多晶炉的排气管上设有第一阀门；第二多晶炉的排气管上设有第二阀门；备用气管的两端分别设有第三阀门、第四阀门。本发明将发生真空泵故障的多晶炉抽气管路，转接至可正常运行的相邻炉台的真空泵预留接口上。此跨接装置的应急处理时间可以压缩到5分钟以内，对铸锭过程几乎没有影响，基本都可以将硅锭保住，避免铸锭报废。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 真空泵 故障 挽救 装置 | ||
【主权项】：
一种多晶炉真空泵故障跨接挽救装置，其特征在于，包括第一多晶炉(1)、与第一多晶炉(1)相邻的第二多晶炉(2)；第一多晶炉(1)的排气管与第一真空泵(3)的进气管连接；第二多晶炉(2)的排气管与第二真空泵(4)的进气管，以及备用气管(5)的一端通过三通接头(10)连接；第一多晶炉(1)的排气管上设有第一阀门(6)；第二多晶炉(2)的排气管上设有第二阀门(8)；备用气管(5)的两端分别设有第三阀门(7)、第四阀门(9)。
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