[发明专利]缩短单晶炉熔料时间装置及方法在审
申请号: | 201610901227.2 | 申请日: | 2016-10-17 |
公开(公告)号: | CN106222737A | 公开(公告)日: | 2016-12-14 |
发明(设计)人: | 潘永娥 | 申请(专利权)人: | 宁夏协鑫晶体科技发展有限公司 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14;C30B29/06 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人: | 唐清凯 |
地址: | 755099 宁*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | 本发明涉及缩短单晶炉熔料时间装置及方法,包括设置在单晶炉的炉腔中、位于坩埚上方的发热体,所述发热体能够通电发热。缩短单晶炉熔料时间方法,包括单晶炉、装有硅料的坩埚、设置在坩埚外围的加热装置、上述的缩短单晶炉熔料时间装置;熔化硅料的步骤如下:a),通过动力装置将发热体下放到距离坩埚顶面合适的位置;b),打开开关,使发热体通电发热;c),当硅料融化后,关闭开关,通过动力装置将发热体向上提升到炉盖处。通过将本申请的发热体与现有的加热装置一起对单硅料进行加热,缩短了熔料时间,提高了单晶棒的生产效率,降低了单晶棒的生产成本。 | ||
搜索关键词: | 缩短 单晶炉熔料 时间 装置 方法 | ||
【主权项】:
一种缩短单晶炉熔料时间装置,其特征在于:包括设置在单晶炉的炉腔中、位于坩埚上方的发热体,所述发热体能够通电发热。
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