[发明专利]缩短单晶炉熔料时间装置及方法在审

专利信息
申请号: 201610901227.2 申请日: 2016-10-17
公开(公告)号: CN106222737A 公开(公告)日: 2016-12-14
发明(设计)人: 潘永娥 申请(专利权)人: 宁夏协鑫晶体科技发展有限公司
主分类号: C30B15/14 分类号: C30B15/14;C30B29/06
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 代理人: 唐清凯
地址: 755099 宁*** 国省代码: 宁夏;64
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摘要: 发明涉及缩短单晶炉熔料时间装置及方法,包括设置在单晶炉的炉腔中、位于坩埚上方的发热体,所述发热体能够通电发热。缩短单晶炉熔料时间方法,包括单晶炉、装有硅料的坩埚、设置在坩埚外围的加热装置、上述的缩短单晶炉熔料时间装置;熔化硅料的步骤如下:a),通过动力装置将发热体下放到距离坩埚顶面合适的位置;b),打开开关,使发热体通电发热;c),当硅料融化后,关闭开关,通过动力装置将发热体向上提升到炉盖处。通过将本申请的发热体与现有的加热装置一起对单硅料进行加热,缩短了熔料时间,提高了单晶棒的生产效率,降低了单晶棒的生产成本。
搜索关键词: 缩短 单晶炉熔料 时间 装置 方法
【主权项】:
一种缩短单晶炉熔料时间装置,其特征在于:包括设置在单晶炉的炉腔中、位于坩埚上方的发热体,所述发热体能够通电发热。
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