[发明专利]基于激光感生热电电压的时间响应测量薄膜厚度的新方法在审
| 申请号： | 201610898373.4 | 申请日： | 2016-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN106441124A | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 熊飞;陈清明;张辉;管洪涛;陈刚 | 申请（专利权）人： | 昆明理工大学;云南大学 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 昆明今威专利商标代理有限公司53115 | 代理人： | 赛晓刚 |
| 地址： | 650500 云南省昆明*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本发明提供一种可以获得外延(或者近似外延)生长在斜切衬底上的薄膜的厚度的无损测量新方法，这种方法采用脉冲宽度小于20ns紫外的短脉冲激光辐照薄膜，短脉冲激光作为一个瞬时热源加热外延薄膜表面，在垂直于薄膜表面的方向上产生温度梯度，然后在薄膜表面沿薄膜的斜切方向，探测由于温差所产生横向热电电压信号(称为LITV信号)随时间的衰减，得到LITV信号由峰值衰减到峰值的1/e时所需要的时间τd，基于τd的平方根与薄膜的厚度d的线性关系获得斜切衬底上薄膜的厚度测量值。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 激光 感生 热电 电压 时间 响应 测量 薄膜 厚度 新方法 | ||
【主权项】：
基于激光感生热电电压的时间响应测量薄膜厚度的新方法，其特征在于先采用紫外激光辐照薄膜，让紫外激光作为一个瞬时热源加热外延薄膜的上表面，在垂直于薄膜表面的方向产生温度梯度，从而在薄膜表面沿薄膜的斜切方向上诱导产生横向的光电压信号(简称LITV信号)；热扩散使薄膜上下表面逐渐达到热平衡，相应地LITV信号随之同步衰减，探测LITV信号的时间演变，获得LITV信号由峰值衰减到峰值的1/e时所需要的时间τd，基于τd的平方根与薄膜的厚度d的线性关系获得斜切衬底上薄膜厚度的测量值。
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