[发明专利]一种旋转轴对称曲面面形误差的测量装置及测量方法有效
申请号: | 201610891212.2 | 申请日: | 2016-10-12 |
公开(公告)号: | CN106500618B | 公开(公告)日: | 2019-04-02 |
发明(设计)人: | 彭石军;苗二龙;高松涛;曲艺;苏东奇;隋永新;杨怀江 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 130033 *** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 一种旋转轴对称曲面面形误差的测量装置及测量方法,测量装置包括基座;转台,设置在基座上,用于带动被测物体绕转轴旋转;激光测量系统,用于在所述被测物体旋转的过程中,对所述被测物体的被测面进行扫描采样,得到若干个采样点数据;以及计算装置,基于所述被测面的几何参数及所述若干个采样点数据,计算面形误差。该测量装置及测量方法可以实现无损伤检测。 | ||
搜索关键词: | 一种 旋转 轴对称 曲面 误差 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】:
1.一种旋转轴对称曲面面形误差的测量装置,其特征在于,包括:基座(1);转台(3),设置在基座(1)上,用于带动被测物体(9)绕转轴旋转;激光测量系统(8),用于在所述被测物体(9)旋转的过程中,对所述被测物体(9)的被测面进行扫描采样,得到若干个采样点数据;以及计算装置,基于所述被测面的几何参数及所述若干个采样点数据,计算面形误差,所述激光测量系统(8)包括:激光器(800),用于发射测量用激光;分光装置,设置于所述激光器的光路后端,用于将所述激光分为第一激光、第二激光以及第三激光;目标测量模块,用于基于所述第一激光测量自身与被测面之间的绝对距离D;X向测量模块,用于基于所述第二激光测量所述目标测量模块的X向位移量Dx;以及Z向测量模块,用于基于所述第三激光测量所述目标测量模块的Z向位移量Dz;其中,X向为水平方向,Z向为竖直方向,每个采样点数据均包括该点处测量的所述绝对距离D、所述X向位移量Dx和所述Z向位移量Dz。
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