[发明专利]一种复合式压电变形镜有效
| 申请号： | 201610886003.9 | 申请日： | 2016-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN106405824B | 公开（公告）日： | 2019-09-03 |
| 发明（设计）人： | 马剑强;朱正雄;田雷;章家连 | 申请（专利权）人： | 宁波大学 |
| 主分类号： | G02B26/06 | 分类号： | G02B26/06 |
| 代理公司： | 杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 33283 | 代理人： | 黄芳 |
| 地址： | 315211 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种复合式压电变形镜，包括单压电变形镜和单压电执行器阵列，单压电变形镜设置在单压电执行器阵列的上方，并通过连接在单压电执行器阵列上的连接柱支撑；单压电变形镜由从上往下依次设置的光学反射层、第一弹性层、作为公共地的正面电极层、第一压电层、背面电极层；单压电执行器阵列包括多个固定于带通孔的基座上的单压电执行器，每个单压电执行器包括第二弹性层和第二压电层，第二压电层的两面均覆盖有电极层，每个单压电执行器上均连接有支撑用的连接柱。本发明由上、下两层的压电变形镜组合而成，在集成化程度上更高，提升整体校正性能，提高了变形镜的工作带宽。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 复合 压电 变形 | ||
【主权项】：
1.一种复合式压电变形镜，其特征在于：包括单压电变形镜和单压电执行器阵列单压电变形镜设置在单压电执行器阵列的上方，并通过连接在单压电执行器阵列上的连接柱支撑；单压电变形镜由从上往下依次设置的光学反射层、第一弹性层、作为公共地的正面电极层、第一压电层、背面电极层；单压电执行器阵列包括多个固定于带通孔的基座上的单压电执行器，每个单压电执行器包括第二弹性层和第二压电层，第二压电层的两面均覆盖有电极层，每个单压电执行器上均连接有支撑用的连接柱；每个单压电执行器下面均对应一个通孔，通过第二弹性层固定于基座上；每个执行器的第二压电层和第二弹性层都是分离的，第二弹性层是铜片。
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