[发明专利]一种流体压力传感器

摘要

本发明公开了一种流体压力传感器，涉及传感器技术领域，用以解决现有技术中的压阻式流体压力传感器，存在电阻直接与检测环境接触，导致工作性能降低，使用寿命减少的问题。该传感器包括：基底、PDMS材料层、压力探针、电极和电流测量装置；PDMS材料层设置在基底上，且PDMS材料层的底部设置有通槽，通槽与基底的顶面构成流体通道；压力探针设置在PDMS材料层顶面上；两个电极分别设置在流体通道的两管口处；压力探针，用于获取施加在PDMS材料层顶面上的外力值；两个电极、流经流体通道的流体、以及位于流体通道外部的电源构成电回路，电流测量装置用于获取电回路的电流值，其中，电源的两端分别与两个电极连接。

主权项

一种流体压力传感器，其特征在于，包括：基底(1)、PDMS材料层(2)、压力探针(3)、电极(4)和电流测量装置；所述PDMS材料层(2)设置在所述基底(1)上，并且所述PDMS材料层(2)的底部设置有通槽，所述通槽与所述基底(1)的顶面构成流体通道(21)；所述压力探针(3)设置在所述PDMS材料层(2)顶面上；两个所述电极(4)分别设置在所述流体通道(21)的两管口处；所述压力探针(3)，用于获取施加在所述PDMS材料层(2)顶面上的外力值；两个所述电极(4)、流经所述流体通道(21)的流体、以及位于所述流体通道(21)外部的电源构成电回路，所述电流测量装置用于获取所述电回路的电流值，其中，所述电源的两端分别与两个所述电极(4)连接。