[发明专利]涂布装置及涂布方法有效
| 申请号： | 201610877444.2 | 申请日： | 2016-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN106423730B | 公开（公告）日： | 2019-08-06 |
| 发明（设计）人： | 郭开超 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05C11/00;B05C13/02;G02F1/13 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 430070 湖北省武汉市武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开一种涂布装置，包括：第一平台，设多个第一吹气孔，用于通过吹气使基板悬浮在所述第一平台的上方；第二平台，设交替排布的多个第二吹气孔和多个第二吸附孔，用于通过吹气和吸附力使所述基板悬浮在所述第二平台的上方；第三平台，设多个第三吹气孔，用于通过吹气使所述基板悬浮在所述第三平台的上方，所述第一平台、所述第二平台以及所述第三平台沿第一方向依次布置；涂布喷嘴，位于所述第二平台的上方，所述涂布喷嘴用于在所述基板上喷涂光阻材料；以及拖拽装置，用于拖拽所述基板依次经过所述第一平台、所述第二平台以及所述第三平台。本发明所述涂布装置涂布均匀。本发明还公开一种涂布方法。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种涂布装置，其特征在于，包括：第一平台，设多个第一吹气孔，用于通过吹气使基板悬浮在所述第一平台的上方；第二平台，设交替排布的多个第二吹气孔和多个第二吸附孔，用于通过吹气和吸附力使所述基板悬浮在所述第二平台的上方；第三平台，设多个第三吹气孔，用于通过吹气使所述基板悬浮在所述第三平台的上方，所述第一平台、所述第二平台以及所述第三平台沿第一方向依次布置；涂布喷嘴，位于所述第二平台的上方，所述涂布喷嘴用于在所述基板上喷涂光阻材料；以及拖拽装置，用于拖拽所述基板依次经过所述第一平台、所述第二平台以及所述第三平台；所述第一平台与所述第二平台间隔设置，形成第一间隙，所述第二平台与所述第三平台间隔设置，形成第二间隙，所述涂布装置还设置有调距组件，用于调节所述第一间隙和所述第二间隙。
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