[发明专利]一种复合纳秒-皮秒-飞秒激光技术的陶瓷钻孔方法

摘要

本发明公开一种复合纳秒‑皮秒‑飞秒激光技术的陶瓷钻孔方法，包括以下步骤：S10、提供多脉宽光纤激光器，包括纳秒激光器、皮秒激光器和飞秒激光器，采用纳秒激光器对固定于工作台上的陶瓷工件进行粗加工，同时在加工位置附近喷射辅助气体；S20、采用皮秒激光器或飞秒激光器对粗加工后的陶瓷工件进行精加工，同时在加工位置附近喷射辅助气体；S30、预设精加工余量T，采用尺寸精密测量仪检测剩余加工余量t，当t>T时，重复步骤S10；当0＜t≤T时，重复步骤S20；如此循环，直至t＝0。本发明通过在加工位置附近喷射辅助气体，经纳秒激光粗加工后再采用皮秒或者飞秒激光进行精加工，提高了陶瓷工件的加工精度以及加工效率。

主权项

1.一种复合纳秒‑皮秒‑飞秒激光技术的陶瓷钻孔方法，其特征在于，包括以下步骤：S10、提供多脉宽光纤激光器，所述多脉宽光纤激光器包括纳秒激光器、皮秒激光器和飞秒激光器，采用所述纳秒激光器对固定于工作台上的陶瓷工件进行粗加工，同时在加工位置附近喷射辅助气体；所述辅助气体选自空气、氧气、氮气或氩气中的任意一种；所述粗加工的路径为由内至外或者由外至内的螺旋线，或者，所述粗加工的路径为若干由内至外或者由外至内的第一同心圆；S20、采用所述皮秒激光器或所述飞秒激光器对粗加工后的陶瓷工件进行精加工，同时在加工位置附近喷射辅助气体；所述精加工的路径为直径大于所述第一同心圆且与所述第一同心圆的圆心重叠的第二同心圆；S30、预设精加工余量T，采用尺寸精密测量仪检测剩余加工余量t，当t>T时，重复步骤S10；当0＜t≤T时，重复步骤S20；如此循环，直至t＝0。