[发明专利]基板保持旋转装置、基板处理装置

摘要

基板保持旋转装置包括将各可动销的支撑部施力至开放位置和保持位置中的一位置的施力单元，与各第一可动销组对应安装且在与沿旋转轴线的轴线正交的方向磁极方向相同的第一驱动用磁铁、与各第二可动销组对应安装且在与沿旋转轴线的轴线正交的方向与第一驱动用磁铁的磁极方向相反的第二驱动用磁铁、设置为非旋转状态且在与沿旋转轴线的轴线正交的方向具有与第一驱动用磁铁之间赋予斥力或引力的磁极方向，由斥力或引力将第一可动销组的支撑部施力至另一位置的第一移动磁铁、设置为非旋转状态且在与沿旋转轴线的轴线正交的方向具有在与第二驱动用磁铁之间赋予斥力或引力的磁极方向，由斥力或引力将第二可动销组的支撑部施力至另一位置的第二移动磁铁。

主权项

一种基板保持旋转装置，其中，包括：旋转台，旋转驱动单元，使所述旋转台绕沿铅垂方向的旋转轴线旋转，以及多个可动销，用于将基板支撑为水平，多个可动销分别具有能够在远离所述旋转轴线的开放位置和靠近所述旋转轴线的保持位置之间移动的支撑部，所述可动销被设置为与所述旋转台一起绕所述旋转轴线旋转；多个所述可动销包括：至少包括3个可动销的第一可动销组和与第一可动销组分开设置且至少包括3个可动销的第二可动销组；所述基板保持旋转装置还包括：施力单元，将各可动销的所述支撑部施力至所述开放位置和所述保持位置中的一位置，第一驱动用磁铁，与各第一可动销组相对应地安装，在与沿所述旋转轴线的轴线正交的方向上具有彼此相同的磁极方向，第二驱动用磁铁，与各第二可动销组相对应地安装，在与沿所述旋转轴线的轴线正交的方向上具有与所述第一驱动用磁铁的磁极方向相反的磁极方向，第一移动磁铁，设置为非旋转状态，在与沿所述旋转轴线的轴线正交的方向上具有在该第一移动磁铁与所述第一驱动用磁铁之间赋予斥力或引力的磁极方向，通过该斥力或该引力，将所述第一可动销组的所述支撑部施力至所述开放位置和所述保持位置中的另一位置，第二移动磁铁，设置为非旋转状态，在与沿所述旋转轴线的轴线正交的方向上具有在该第二移动磁铁与所述第二驱动用磁铁之间赋予斥力或引力的磁极方向，通过该斥力或该引力，将所述第二可动销组的所述支撑部施力至所述开放位置和所述保持位置中的所述另一位置，第一相对移动单元，使所述第一移动磁铁与所述旋转台在第一位置与第二位置之间相对移动，所述第一位置是所述第一移动磁铁在所述第一移动磁铁与所述第一驱动用磁铁之间赋予所述斥力或所述引力的位置，所述第二位置是所述第一移动磁铁不在所述第一移动磁铁与所述第一驱动用磁铁之间赋予所述斥力及所述引力的位置，以及第二相对移动单元，使所述第二移动磁铁与所述旋转台以与所述第一移动磁铁及所述旋转台之间的相对移动相独立的方式在第三位置与第四位置之间相对移动，所述第三位置是所述第二移动磁铁在所述第二移动磁铁与所述第二驱动用磁铁之间赋予所述斥力或所述引力的位置，所述第四位置是所述第二移动磁铁不在所述第二移动磁铁与所述第二驱动用磁铁之间赋予所述斥力及所述引力的位置。