[发明专利]一种直线进给系统的导轨直线度测量装置及方法有效
| 申请号： | 201610859456.2 | 申请日： | 2016-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN106323202B | 公开（公告）日： | 2018-10-30 |
| 发明（设计）人： | 刘志刚;洪军;赵列斌;李逸群;郭俊康;刘鹏 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01B11/27 | 分类号： | G01B11/27;G01B7/02 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 李宏德 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明一种直线进给系统的导轨直线度测量装置及方法，所述测量装置中直线进给系统的导轨基准坐标系为以竖直方向为Z轴，滑块的移动方向为Y轴，水平垂直远离导轨的方向为X轴；其包括分别固定在滑块上的第一测量夹具和第二测量夹具；固定在第一测量夹具上的激光准直仪，分别对称设置在第二测量夹具X向上的二、三号位移传感器，以及设置在第二测量夹具Z向上的一号位移传感器；激光准直仪的光路与第一测量夹具Y向平行；一号位移传感器的中心线经过激光准直仪的中心点；三个位移传感器位于同一垂直于Y向的平面内；二、三号位移传感器分别用于测量导轨与滑块之间Y向的位移间隙；一号位移传感器和激光准直仪用于测量滑块和导轨之间Z向位移间隙。 | ||
| 搜索关键词： | 夹具 位移传感器 滑块 直线进给系统 测量装置 第二测量 第一测量 导轨 导轨直线度 激光准直仪 激光准直 个位移传感器 基准坐标系 测量导轨 对称设置 水平垂直 移动方向 中心点 光路 竖直 平行 测量 垂直 | ||
【主权项】：
1.一种直线进给系统的导轨直线度测量装置，其特征在于，直线进给系统的导轨基准坐标系为以竖直方向为Z轴，滑块的移动方向为Y轴，水平垂直远离导轨的方向为X轴；所述测量装置包括分别固定在滑块上的第一测量夹具(1)和第二测量夹具(2)，固定在第一测量夹具(1)上的激光准直仪(6)，分别对称设置在第二测量夹具(2)X向上的二号位移传感器(3)和三号位移传感器(4)，以及设置在第二测量夹具(2)Z向上的一号位移传感器(5)；激光准直仪(6)的光路与第一测量夹具(1)Y向平行；一号位移传感器(5)的中心线经过激光准直仪(6)的中心点；二、三、一号位移传感器(3、4、5)位于同一个垂直于Y向的平面内；二号位移传感器(3)和三号位移传感器(4)分别用于测量导轨与滑块之间Y向的位移间隙；一号位移传感器(5)和激光准直仪(6)用于测量滑块和导轨之间Z向位移间隙。
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