[发明专利]一种金属图形的制备方法在审
| 申请号： | 201610852489.4 | 申请日： | 2016-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN106444293A | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 曲晓东;朱浩 | 申请（专利权）人： | 易美芯光（北京）科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 南昌新天下专利商标代理有限公司36115 | 代理人： | 施秀瑾 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区亦庄经*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种金属图形的制备方法，包括：S1 在目标材料上覆盖一保护层；S2 在保护层表面涂覆光刻胶层并对光刻胶层处理预留出金属图形区域；S3 去除金属图形区域的保护层材料，裸露出目标材料；S4 在金属图形区域、目标材料表面蒸镀金属材料；S5 去除非金属图形区域的光刻胶，实现目标材料表面金属图形的制备。目标材料表面的保护层有效避免了光刻、清洗等过程中引入的污染；同时提高了金属图形和目标材料表面间的粘附性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 图形 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种金属图形的制备方法，其特征在于，所述制备方法中包括：S1 在目标材料上覆盖一保护层；S2 在保护层表面涂覆光刻胶层并对所述光刻胶层处理预留出金属图形区域；S3 去除所述金属图形区域的保护层材料，裸露出目标材料；S4 在所述金属图形区域、目标材料表面蒸镀金属材料；S5 去除非金属图形区域的光刻胶，实现目标材料表面金属图形的制备。
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