[发明专利]一种高速的伪纳米复合Mg‑Sb‑Te可逆相变薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 201610852435.8 | 申请日： | 2016-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN106229408A | 公开（公告）日： | 2016-12-14 |
| 发明（设计）人： | 罗阳;王国祥;吕业刚;李军建;钟珏晨;沈祥;陈飞飞;蒋科锋 | 申请（专利权）人： | 宁波大学 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00;C23C14/35;C23C14/16;C23C14/18 |
| 代理公司： | 宁波奥圣专利代理事务所(普通合伙)33226 | 代理人： | 蔡菡华 |
| 地址： | 315211 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高速的伪纳米复合Mg‑Sb‑Te可逆相变薄膜，特点是该可逆相变薄膜的材料为Mg、Sb、Te三种元素的混合物，其化学结构式为Mgx（Sb7Te3）100‑x，其中0<x<30；优点是该Mg‑Sb‑Te可逆相变薄膜材料具有较高的结晶温度、较大的析晶活化能、较好的十年数据保持能力、较大的晶态电阻和非晶态电阻、以及较高的非晶态/晶态电阻比；更重要的是，该Mg‑Sb‑Te可逆相变薄膜材料可实现纳秒级别的相转变，与传统GST材料相比，该Mg‑Sb‑Te可逆相变薄膜材料在提高热稳定性的同时保持了较快的相变速度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高速 纳米 复合 mg sb te 可逆 相变 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种高速的伪纳米复合Mg‑Sb‑Te可逆相变薄膜，其特征在于：所述的可逆相变薄膜的材料为Mg、Sb、Te三种元素的混合物，其化学结构式为Mgx（Sb7Te3）100‑x，其中0<x<30。
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