[发明专利]一种模板热压制备维纳结构表面形貌的方法在审
申请号: | 201610844667.9 | 申请日: | 2016-09-22 |
公开(公告)号: | CN106495088A | 公开(公告)日: | 2017-03-15 |
发明(设计)人: | 张跃;杨闻帅;马明园;廖庆亮;陈步航;徐肖慧;何奕霖 | 申请(专利权)人: | 北京科技大学 |
主分类号: | B81C1/00 | 分类号: | B81C1/00 |
代理公司: | 北京金智普华知识产权代理有限公司11401 | 代理人: | 臯吉甫 |
地址: | 100083*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及纳米技术领域,提供了一种模板热压制备维纳结构表面形貌的方法,包括一、预处理对固定基板、压印模板,基底薄膜材料进行清洗;二、组装将压印模板和基底薄膜材料紧密贴合并使用上下固定基板固定,形成薄膜层‑‑模板层层叠体;三、加热压印,薄膜‑模板层叠体加热,施加压力500~600N,维持20~30min;四、脱模,层叠体放入乙醇中,超声之后将压印模板和基底薄膜材料分离。本发明的有益效果为构建薄膜‑模板层叠体,加热脱模后得到具有微纳结构表面形貌的聚合物薄膜。该方法不仅能得到尺寸小、重复性好的微纳结构表面形貌,而且制备工艺简单,成本低廉,可广泛应用于纳米压印以及微电子技术等领域。 | ||
搜索关键词: | 一种 模板 热压 制备 结构 表面 形貌 方法 | ||
【主权项】:
一种模板热压制备维纳结构表面形貌的方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤一、预处理:对固定基板、压印模板,基底薄膜材料进行清洗;步骤二、组装:将压印模板和基底薄膜材料紧密贴合并使用上下固定基板固定,形成薄膜层‑‑模板层层叠体;步骤三、加热压印:将步骤二中的薄膜‑模板层叠体加热,施加压力,维持20~30min,然后取出层叠体;步骤四、脱模:将步骤三中层叠体放入乙醇中,超声之后将压印模板和基底薄膜材料分离,得到带有微纳结构表面形貌的薄膜材料。
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