[发明专利]电感耦合等离子体产生装置及等离子体加工设备

摘要

本发明提供了一种电感耦合等离子体产生装置及等离子体加工设备，电感耦合等离子体产生装置包括感应线圈、线圈支架、第一导轨、第一电连接柱和驱动机构，感应线圈固定在线圈支架上；第一导轨与线圈支架的第一面相对且固定设置，线圈支架的第一面为线圈支架未固定感应线圈的一面，第一导轨由导电材料制成且与激励电源连接；第一电连接柱的第一端与感应线圈的第一端固定连接，第二端与第一导轨滑动连接；驱动机构与线圈支架连接，用于驱动线圈支架移动或自转，以带动感应线圈沿第一导轨进行相应的移动或自转，使感应线圈在腔室内的不同区域产生的磁场趋于均匀。可以提高诸如刻蚀等工艺的均匀性，且不会出现造成刻蚀侧壁发生刻蚀等的其他问题。

主权项

一种电感耦合等离子体产生装置，其特征在于，包括：感应线圈、线圈支架、第一导轨、第一电连接柱和驱动机构，其中，所述感应线圈固定在所述线圈支架上；所述第一导轨与所述线圈支架的第一面相对且固定设置，所述线圈支架的第一面为线圈支架未固定感应线圈的一面，所述第一导轨由导电材料制成且与激励电源连接；所述第一电连接柱的第一端与所述感应线圈的第一端固定连接，第二端与所述第一导轨滑动连接；所述驱动机构与所述线圈支架连接，用于驱动所述线圈支架移动或自转，以带动所述感应线圈沿所述第一导轨进行相应的移动或自转，使所述感应线圈在腔室内的不同区域产生的磁场趋于均匀。